先进陶瓷元器件解决方案
专注于半导体陶瓷器件领域，提供从生瓷到熟瓷段的全流程测试、检测、分选和修复解决方案，助力提升芯片产品可靠性与竞争力。
高精度视觉检测(前道)
ME2000 陶瓷通孔检查机
ME2000陶瓷通孔检查机专为高精度陶瓷通孔检测设计，支持高达1000万个孔的检测，最高精度可达1微米。设备具备出色的可操作性，支持DXF和Gerber文件导入，广泛应用于陶瓷基板、LTCC、HTCC等领域。
产品优势
01
超高通孔检测能力：支持高达1000万个通孔的检测，满足大规模陶瓷基板的量产需求。
02
微米级检测精度：最高检测精度达1微米，确保微小通孔的尺寸和位置精度。
03
便捷文件导入：支持DXF和Gerber文件直接导入，简化编程流程，提升效率。
04
优越可操作性：人性化交互界面和自动化流程，降低操作门槛，减少人为误差。
产品功能
产品规格
- 最大检：
- 10,000,000个
- 检测精度（最高）：
- 1 μm
- 支持文件格式：
- DXF, Gerber
- 适用产品：
- 陶瓷基板、LTCC、HTCC等
应用范围
陶瓷基板通孔检测：用于陶瓷封装基板中高密度通孔的尺寸和缺陷检测。
LTCC/HTCC工艺检测：适用于低温共烧陶瓷和高温共烧陶瓷产品中的通孔质量检查。
微电子封装检测：满足先进封装中对陶瓷基板通孔高精度的检测需求。
MEMS器件检测：用于MEMS中陶瓷基板微米级通孔的自动化检测。