先進陶瓷元器件解決方案
專注於半導體陶瓷器件領域，提供從生瓷到熟瓷段的全流程測試、檢測、分選和修復解決方案，助力提升晶片產品可靠性與競爭力。
高精度視覺檢測(前道)
ME2000 陶瓷通孔檢查機
ME2000陶瓷通孔檢查機專為高精度陶瓷通孔檢測設計，支援高達1000萬個孔的檢測，最高精度可達1微米。裝置具備出色的可操作性，支援DXF和Gerber檔案匯入，廣泛應用於陶瓷基板、LTCC、HTCC等領域。
產品優勢
01
超高通孔檢測能力：支援高達1000萬個通孔的檢測，滿足大規模陶瓷基板的量產需求。
02
微米級檢測精度：最高檢測精度達1微米，確保微小通孔的尺寸和位置精度。
03
便捷檔案匯入：支援DXF和Gerber檔案直接匯入，簡化程式設計流程，提升效率。
04
優越可操作性：人性化互動介面和自動化流程，降低操作門檻，減少人為誤差。
產品功能
產品規格
- 最大檢：
- 10,000,000個
- 檢測精度（最高）：
- 1 μm
- 支援檔案格式：
- DXF, Gerber
- 適用產品：
- 陶瓷基板、LTCC、HTCC等
應用範圍
陶瓷基板通孔檢測：用於陶瓷封裝基板中高密度通孔的尺寸和缺陷檢測。
LTCC/HTCC工藝檢測：適用於低溫共燒陶瓷和高溫共燒陶瓷產品中的通孔質量檢查。
微電子封裝檢測：滿足先進封裝中對陶瓷基板通孔高精度的檢測需求。
MEMS器件檢測：用於MEMS中陶瓷基板微米級通孔的自動化檢測。