先进陶瓷元器件解决方案
专注于半导体陶瓷器件领域，提供从生瓷到熟瓷段的全流程测试、检测、分选和修复解决方案，助力提升芯片产品可靠性与竞争力。
HTCC / LTCC 生瓷段产品线
GR3500 外观检测设备-高精度印刷图案
ME 检测机系列外观检测设备专为先进陶瓷元器件高精度印刷图案检测设计，适用于生瓷/熟瓷不同工序段的丝网印刷、光刻线路、蚀刻线路等多种表面图案线路外观检测，涵盖LTCC/HTCC印刷料片、电阻、薄膜电路、厚膜电路等产品，以高精度、高效率和低误判率保障生产质量。
产品优势
01
超高精度检测：最高像素精度1μm、重复精度±1μm，常用精度像素3μm、重复精度±3μm，支持精度分档，满足不同工艺段严苛要求。
02
全面缺陷覆盖：检测断线、连通、须状物、缺损、溢出、洇墨、针孔、凸点、凹陷、图形偏、线宽异常、间距异常、表面异物、少图、多图及填孔相关缺陷，覆盖广泛。
03
极低误判率：过杀率仅0.01%，漏检率仅0.001%，确保高可靠性，减少误判带来的成本损失。
04
高效检测能力：200mm尺寸产品检测时间仅6秒/片，满足产线高速节拍需求。
05
智能标记与追溯：识别NG后可进行激光微纳加工或激光/喷墨标记，并支持NG数据叠层后统一标记，便于追溯与后续处理。
产品功能
产品规格
- 检测对象：
- 丝网印刷/光刻线路/蚀刻线路适用于多种工艺段
- 最高精度：
- 像素1μm，重复±1μm支持精度分档
- 常用精度：
- 像素3μm，重复±3μm
- 检测效率：
- 6s/片200mm尺寸产品
- 过杀率：
- 0.01%
- 漏检率：
- 0.001%
应用范围
LTCC/HTCC印刷料片：检测生瓷/熟瓷料片上的印刷图案，确保线路完整，适用于多层陶瓷基板制造。
薄膜电路与厚膜电路：应用于薄膜、厚膜电路的外观检测，保障图形精度与表面质量。
电阻与导体线路：检测电阻及导体线路的印刷质量，控住线宽、间距等关键参数。