先進陶瓷元器件解決方案
專注於半導體陶瓷器件領域，提供從生瓷到熟瓷段的全流程測試、檢測、分選和修復解決方案，助力提升晶片產品可靠性與競爭力。
HTCC / LTCC 生瓷段產品線
GR3500 外觀檢測裝置-高精度印刷圖案
ME 檢測機系列外觀檢測裝置專為先進陶瓷元器件高精度印刷圖案檢測設計，適用於生瓷/熟瓷不同工序段的絲網印刷、光刻線路、蝕刻線路等多種表面圖案線路外觀檢測，涵蓋LTCC/HTCC印刷料片、電阻、薄膜電路、厚膜電路等產品，以高精度、高效率和低誤判率保障生產質量。
產品優勢
01
超高精度檢測：最高畫素精度1μm、重複精度±1μm，常用精度畫素3μm、重複精度±3μm，支援精度分檔，滿足不同工藝段嚴苛要求。
02
全面缺陷覆蓋：檢測斷線、連通、須狀物、缺損、溢位、洇墨、針孔、凸點、凹陷、圖形偏、線寬異常、間距異常、表面異物、少圖、多圖及填孔相關缺陷，覆蓋廣泛。
03
極低誤判率：過殺率僅0.01%，漏檢率僅0.001%，確保高可靠性，減少誤判帶來的成本損失。
04
高效檢測能力：200mm尺寸產品檢測時間僅6秒/片，滿足產線高速節拍需求。
05
智慧標記與追溯：識別NG後可進行雷射微納加工或雷射/噴墨標記，並支援NG資料疊層後統一標記，便於追溯與後續處理。
產品功能
產品規格
- 檢測物件：
- 絲網印刷/光刻線路/蝕刻線路適用於多種工藝段
- 最高精度：
- 畫素1μm，重複±1μm支援精度分檔
- 常用精度：
- 畫素3μm，重複±3μm
- 檢測效率：
- 6s/片200mm尺寸產品
- 過殺率：
- 0.01%
- 漏檢率：
- 0.001%
應用範圍
LTCC/HTCC印刷料片：檢測生瓷/熟瓷料片上的印刷圖案，確保線路完整，適用於多層陶瓷基板製造。
薄膜電路與厚膜電路：應用於薄膜、厚膜電路的外觀檢測，保障圖形精度與表面質量。
電阻與導體線路：檢測電阻及導體線路的印刷質量，控住線寬、間距等關鍵引數。