先進セラミック部品ソリューション
半導体セラミック部品に特化し、全工程のテスト、検査、選別、修復ソリューションを提供します。
HTCC / LTCC 生瓷段製品ライン
GR3500 外観検査装置-高精度印刷パターン
ME検査機シリーズの外観検査装置は、先進セラミック部品の高精度印刷パターン検査に特化して設計されており、生セラミック/焼成セラミックの各工程段階におけるスクリーン印刷、フォトリソグラフィ配線、エッチング配線など多様な表面パターン配線の外観検査に適応します。LTCC/HTCC印刷シート、抵抗器、薄膜回路、厚膜回路などの製品を対象とし、高精度・高効率・低誤判定率で生産品質を確保します。
製品優位性
超高精度検査：最高画素精度1μm、繰り返し精度±1μm、常用精度は画素3μm、繰り返し精度±3μmで、精度の段階分けに対応し、各工程段階の厳しい要求を満たします。
幅広い欠陥カバレッジ：断線、短絡、ヒゲ状異物、欠損、はみ出し、インクにじみ、ピンホール、凸部、凹部、パターンずれ、線幅異常、間隔異常、表面異物、パターン欠落、パターン過多、ビア充填関連欠陥を検出し、幅広くカバーします。
極めて低い誤判定率：過剰検出率はわずか0.01%、見逃し率はわずか0.001%で、高い信頼性を確保し、誤判定によるコスト損失を低減します。
高効率な検査能力：200mmサイズ製品の検査時間はわずか6秒/枚で、生産ラインの高速タクト要求に対応します。
インテリジェントなマーキングとトレーサビリティ：NG判定後、レーザー微細加工やレーザー/インクジェットマーキングが可能で、NGデータを重ね合わせて一括マーキングすることにも対応し、トレーサビリティと後工程処理を容易にします。
製品機能
製品仕様
- 検査対象：
- スクリーン印刷/フォトリソグラフィ配線/エッチング配線各種工程段階に対応
- 最高精度：
- 画素1μm、繰り返し±1μm精度の段階分けに対応
- 常用精度：
- 画素3μm、繰り返し±3μm
- 検査効率：
- 6s/枚200mmサイズ製品
- 過剰検出率：
- 0.01%
- 見逃し率：
- 0.001%
適用範囲
LTCC/HTCC印刷シート：生セラミック/焼成セラミックシート上の印刷パターンを検査し、配線の完全性を確保します。多層セラミック基板の製造に適しています。
薄膜回路・厚膜回路：薄膜・厚膜回路の外観検査に適用し、パターン精度と表面品質を確保します。
抵抗器・導体配線：抵抗器および導体配線の印刷品質を検査し、線幅や間隔などの重要パラメータを管理します。