先進セラミック部品ソリューション

高精度検査：超深度視野カメラを搭載し、結像精度は0.4μm、常用精度での画素精度は2.6μm、繰り返し精度は±1μmで、微細な欠陥を安定して捉え、厳しい工程要件を満たします。

大尺寸対応：350〜550mmの大尺寸セラミックシートの検査に対応し、静電チャックやプローブカードなどの大型グリーンシートに適応します。手動ローディング/アンローディングの設計で生産フローに柔軟に適合します。

全工程対応：貫通穴、穴埋め、印刷、バー塊などの多様な工程に対して、穴内異物、真円度、穴埋め凹み、穴埋め高さ、パターンずれ、線幅異常などの包括的な検査項目を提供し、ワンストップ全数検査を実現します。

スマートゾーン検査：DXF図面のインポートに対応し、ゾーン検査戦略をカスタマイズ可能で、検査効率を最適化します。特に大尺寸シート上の複雑なパターン領域に適しています。

極低い誤報・見逃し：過殺率は0.1%以内、見逃し率は0.03%以下で、欠陥を確実に捉え、誤判定が生産効率に与える影響を軽減します。

超深度視野技術を併用：超深度視野技術を併用し、穴埋めの具体的な高さ値を迅速に識別でき、欠陥を確実に捉え、穴埋め高さの不均一が生産工程に与える影響を軽減します。