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先进陶瓷元器件解决方案

专注于半导体陶瓷器件领域,提供从生瓷到熟瓷段的全流程测试、检测、分选和修复解决方案,助力提升芯片产品可靠性与竞争力。

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小枚/单颗检测设备

AMB、DBC、DPC检测产品线

AMB001 小枚/单颗检测设备

AMB小枚/单颗检测设备专为AMB先进陶瓷基板设计,可高效检测裂纹、凸起、缺损、崩边、图形错位、连线、残铜、焊料辅助及氧化等缺陷,最高像素精度达1μm,重复精度±1μm,过杀率低至0.01%,漏检率低至0.001%,满足高可靠性检测需求。

产品优势

01

高精度检测支持像素精度1μm、重复精度±1μm的最高精度配置,并可根据需求分档调整,确保微小缺陷的精准识别。

02

全面缺陷覆盖检测项目涵盖裂纹、凸起、缺损、崩边、图形错位、连线、残铜、焊料辅助及氧化等,一站式满足多种缺陷检测需求。

03

极低误判率过杀率低至0.01%,漏检率低至0.001%,有效降低误判与漏检风险,提升生产良率与效率。

04

高效检测效率单片(65mm尺寸产品)检测时间仅需2.5秒,在保证精度的同时实现高速检测,适配产线节拍。

产品功能

产品规格

检测对象
AMB、DBC、DPC小枚/单颗
像素精度
1μm / 5μm最高精度与常用精度可选
重复精度
±1μm / ±5μm对应最高精度与常用精度
检测性能
过杀率0.01%,漏检率0.001%不同缺陷类型可能有差异
检测效率
2.5s/片以65mm尺寸产品为例

应用范围

AMB基板检测适用于AMB(活性金属钎焊)基板的小枚/单颗检测,有效识别裂纹、氧化等关键缺陷。

DBC基板检测用于DBC(直接键合铜)基板的表面缺陷检测,确保图形完整性与质量。

DPC基板检测针对DPC(直接镀铜)基板,检测图形错位、残铜等工艺问题,提升产品可靠性。

先进陶瓷元器件产线集成于先进陶瓷元器件生产线的质量检测环节,实现高效的在线或离线检测。