先進陶瓷元器件解決方案
專注於半導體陶瓷器件領域，提供從生瓷到熟瓷段的全流程測試、檢測、分選和修復解決方案，助力提升晶片產品可靠性與競爭力。
高精度視覺檢測(前道)
TKF500 玻璃基板表面檢查機
TKF500玻璃基板表面檢查機，專為高精度視覺檢測設計，可一次性快速完成大量微孔的全檢，檢測精度達±5μm，適用於玻璃及先進陶瓷元器件的表面缺陷與尺寸測量。
產品優勢
01
高速多孔同步檢測：採用並行光學成像與快速掃描機構，一次掃描即可完成數百個微孔的全檢，大幅提升產線吞吐量。
02
微米級測量精度：檢測精度嚴格控制在±5μm，滿足半導體封裝與先進陶瓷領域的高標準尺寸測量要求。
03
智慧缺陷識別：整合深度學習演算法，精準識別裂紋、崩邊、孔壁粗糙等細微缺陷，降低誤判率。
04
柔性基板適配：可應對不同尺寸、厚度的玻璃基板與陶瓷基板，快速換線，適應多品種生產需求。
05
一體化資料管理：自動生成檢測報告與SPC統計，支援MES系統對接，實現生產過程質量追溯。
產品功能
產品規格
- 檢測精度：
- ±5 μm
- 檢測速度：
- ≥500 mm²/s典型值，依基板複雜度略有差異
- 可檢基板尺寸：
- 最大500 mm × 500 mm可定製更大尺寸
- 最小可檢孔徑：
- 10 μm依賴光學系統配置
- 視覺系統：
- 高倍率雙遠心鏡頭 + 高解析度工業相機
- 裝置尺寸：
- 約2000 mm × 1500 mm × 1800 mm含進出料模組
應用範圍
顯示面板玻璃基板：檢測TFT-LCD、OLED基板的通孔、盲孔尺寸精度與邊緣缺陷，保障畫素級可靠性。
半導體封裝基板：IC載板、中介層等微孔陣列的全面檢查，確保導電孔一致性。
先進陶瓷元器件：適用於陶瓷封裝基座、濾波器、諧振器的表面質量與微小孔引數檢測。
精密網版與模具：檢查高密度網版開孔面積、形狀誤差，以及精密模具的孔位精度。